能进行单分子层生长的相位控制外延 |
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引用本文: | 坂本统德
,太田公广
,中川格
,河合直行
,小岛猛
,龚汩清
,秦洪根.能进行单分子层生长的相位控制外延[J].微细加工技术,1987(Z1). |
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作者姓名: | 坂本统德 太田公广 中川格 河合直行 小岛猛 龚汩清 秦洪根 |
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摘 要: | 自从分子束外延问世以来,电子衍射仪就是该技术的一种必不可少的仪器,用它来观测生长过程中的结晶情况及表面结构变化。随着MBE技术的发展及研究工作的深入,电子衍射仪的用途也在不断扩展:如观测衍射象的变化探讨晶体的生长机理;利用衍射象随温度的变化来辅助测量衬底温度;通过观测衍射象的振动来控制生长厚度达到分子层的精度等等。本文介绍的“相位控制外延技术”被认为是这些扩展的应用中最有吸引力的。特译出此文,以飨读者。
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