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能进行单分子层生长的相位控制外延
引用本文:坂本统德 ,太田公广 ,中川格 ,河合直行 ,小岛猛 ,龚汩清 ,秦洪根.能进行单分子层生长的相位控制外延[J].微细加工技术,1987(Z1).
作者姓名:坂本统德  太田公广  中川格  河合直行  小岛猛  龚汩清  秦洪根
摘    要:自从分子束外延问世以来,电子衍射仪就是该技术的一种必不可少的仪器,用它来观测生长过程中的结晶情况及表面结构变化。随着MBE技术的发展及研究工作的深入,电子衍射仪的用途也在不断扩展:如观测衍射象的变化探讨晶体的生长机理;利用衍射象随温度的变化来辅助测量衬底温度;通过观测衍射象的振动来控制生长厚度达到分子层的精度等等。本文介绍的“相位控制外延技术”被认为是这些扩展的应用中最有吸引力的。特译出此文,以飨读者。

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