硅片抛光工艺技术研究

硅片抛光是ＩＣ生产中的重要工序，为提高硅片和ＩＣ产品的质量。本文系统地介绍了ＨＥ系列新型高效抛光剂的制备方法、性能结构、抛光表面质量以及速率等，并探讨了抛光硅片的工艺技术，该技术经国内外几家大型专业厂生产线的实际应用，其效果良好。