| 力平衡框架结构加速度计的设计 |
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| 引用本文： | 陈伟平,赵振刚,刘晓为,韩 天. 力平衡框架结构加速度计的设计[J]. 传感技术学报, 2006, 19(5): 2193-2196 |
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| 作者姓名： | 陈伟平 赵振刚 刘晓为 韩 天 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构,并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真.这种框架结构可以有效地增大结构静态电容,以便在闭环工作时能产生更大的静电力.它的整体尺寸为2 800μm×3000μm×60 μm,结构惯性质量为0.14 mgn,静态电容为3.618pF,抗过载能力超过5000 gn.通过系统仿真,该加速度计的电压灵敏度为90 mv/gn,量程为±50 gn,系统带宽是10 kHz.
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| 关 键 词： | 微机械加速度计 闭环系统 框架结构 差分电容式 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-2193-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
Design of Force-Balance Accelerometer with Frame Structure |
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| Weiping Chen,Zhengang Zhao,Xiaowei Liu,Tian Han. Design of Force-Balance Accelerometer with Frame Structure[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(5): 2193-2196 |
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| Authors: | Weiping Chen Zhengang Zhao Xiaowei Liu Tian Han |
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| Affiliation: | MEMS Center, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001 China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-accelerometer closed-loop system frame structure differential capacitive |
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