| 射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究 |
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| 引用本文： | 聂军伟,陈庆川,黄琪,冯春堂,赵哲,耿少飞. 射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究[J]. 真空, 2013, 50(1) |
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| 作者姓名： | 聂军伟 陈庆川 黄琪 冯春堂 赵哲 耿少飞 |
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| 作者单位： | 核工业西南物理研究院,四川成都,610041 |
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| 摘 要： | 为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布.结果发现电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在放电室内距天线1 cm附近.对比电子的温度和离子密度分布,在低气压条件下,电子加热的区域和产生电离的区域是分开的,电子加热的区域出现在线圈附近,而最强的电离过程发生在双极性电势最高的位置附近.
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| 关 键 词： | 电感耦合等离子体 数值模拟 磁流体动力学 射频离子源 |
Two dimensional magnetic-fluid simulation of RF inductively coupled ion source plasma discharge |
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| NIE Jun-wei , CHEN Qing-chuan , HUANG Qi , FENG Chun-tang , ZHAO Zhe , GENG Shao-fei. Two dimensional magnetic-fluid simulation of RF inductively coupled ion source plasma discharge[J]. Vacuum(China), 2013, 50(1) |
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| Authors: | NIE Jun-wei CHEN Qing-chuan HUANG Qi FENG Chun-tang ZHAO Zhe GENG Shao-fei |
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