| 不同颜色AlN单晶缺陷研究 |
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| 引用本文： | 徐永宽,金雷,程红娟,史月增,张丽,齐海涛.不同颜色AlN单晶缺陷研究[J].人工晶体学报,2018,47(7):1340-1345. |
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| 作者姓名： | 徐永宽 金雷 程红娟 史月增 张丽 齐海涛 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51702297) |
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| 摘 要： | 通过物理气相传输(PVT)法在石墨系统中制备了绿色、无色和琥珀色氮化铝(AlN)单晶,在金属系统中制备了琥珀色AlN单晶.晶体中杂质含量测试结果表明石墨系统中琥珀色的AlN晶体比绿色和无色AlN晶体C、Si杂质含量低1～2个数量级,金属系统中琥珀色AlN晶体杂质含量最低,C、Si、O元素含量均在1018 cm-3级别.AlN晶体的吸收图谱和光致发光图谱的分析结果表明,AlN晶体存在着位于4.7 eV、3.5 eV、2.8 eV、1.85 eV的4个吸收峰,其中4.7 eV和3.5 eV的吸收峰导致了AlN吸收截止边的红移,该吸收峰分别源于碳占氮位(CN)的点缺陷和VAl与O杂质的复合缺陷,2.80 eV的吸收峰导致了AlN晶体的琥珀色,该吸收峰是C元素和O元素共同导致的,1.85 eV的吸收峰导致了AlN晶体的绿色,该吸收峰是Si元素和C元素导致的.
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| 关 键 词： | 物理气相传输 杂质含量 缺陷 AlN晶体 |
Defects Investigation of AlN Crystals with Different Colors |
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| XU Yong-kuan,JIN Lei,CHENG Hong-juan,SHI Yue-zeng,ZHANG Li,QI Hai-tao.Defects Investigation of AlN Crystals with Different Colors[J].Journal of Synthetic Crystals,2018,47(7):1340-1345. |
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| Authors: | XU Yong-kuan JIN Lei CHENG Hong-juan SHI Yue-zeng ZHANG Li QI Hai-tao |
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