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谐振式力传感器敏感结构的研究
引用本文:路峻岭,田文杰,王长江,张伟,夏颂,张福学.谐振式力传感器敏感结构的研究[J].压电与声光,2002,24(2):149-151,159.
作者姓名:路峻岭  田文杰  王长江  张伟  夏颂  张福学
作者单位:1. 清华大学物理系,北京,100084
2. 北京信息工程学院传感技术研究中心,北京,100101
基金项目:国防科技预研基金项目 (0 0 J9.1.9.DZ0 3 0 1)
摘    要:利用材料力学及弹性力学法,对石英晶体谐振式力传感器的悬臂梁结构进行了研究,得出了双梁单岛及三梁单岛悬臂梁结构的力转移系数,在与实验结果进行了比较后证明,支承结构的理论推导与实验结果一致。

关 键 词:谐振式力传感器  敏感结构  石英谐振器  悬臂梁结构  力转移系数
文章编号:1004-2474(2002)02-0149-03

Study of Sensitive Structure Resonate Type Force Sensor
LU Jun ling ,TIAN Wen jie ,WANG Chang jiang ,ZHANG Wei ,XIA Shong ,ZHANG Fu xue.Study of Sensitive Structure Resonate Type Force Sensor[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2002,24(2):149-151,159.
Authors:LU Jun ling  TIAN Wen jie  WANG Chang jiang  ZHANG Wei  XIA Shong  ZHANG Fu xue
Affiliation:LU Jun ling 1,TIAN Wen jie 2,WANG Chang jiang 1,ZHANG Wei 2,XIA Shong 2,ZHANG Fu xue 2
Abstract:This paper presents using the methods of material and electricity mechanics to study cantilever structrues of quartz resonate type force sensor.Force transmission coefficients of bio beam single isle and three beam single isle have been obtained and compared with experiment results.Study result shows that the theoretical deduction is consistent with experiment results.
Keywords:quartz resonator  cantilever structure  force transmission coefficient
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