高纯气体的贮存与输送 |
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引用本文: | 于治中.高纯气体的贮存与输送[J].低温与特气,1991(2):22-24. |
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作者姓名: | 于治中 |
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作者单位: | 化工部光明化工研究所 大连 |
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摘 要: | 一、前言高纯气体已成为电子工业不可缺少的化工原料之一。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度要求不同,但同一种杂质给半导体生产带来的危害是一样的,总是使半导体产品质量劣化,成品率下降。高纯氢、氮、氧、氩及其它许多气体可用于半导体外延、光刻、清洗、蒸发及高温氧化生长等工艺中。表1列出了日本半导体工业用气体的纯度。
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关 键 词: | 气体 贮存 输送 高纯气体 |
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