垂直绝对反射率计的结构原理

本文介绍一种测量垂直入射条件下光学薄膜元件绝对反射率的反射率计。该装置使用了一个可转动的分束镜和一个补偿镜,在测量中不需要用标准参考样品。文中详细分析了读仪器的各师主要误差。该仪器的测量准确度可达±0.2％。