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用于耳内体温监测的柔性温度传感器
作者姓名:项晓禹孙鹏刘伟涛李浩然张弛刘军山
作者单位:1.大连理工大学机械工程学院辽宁省微纳米技术及系统重点实验室116024;
基金项目:国家重点研发计划项目(2020YFB2008502);国家自然科学基金(51875083)。
摘    要:为了在使用入耳式耳机进行日常活动时,可以通过监测耳内温度来评估健康状况,研制了一种柔性铂薄膜温度传感器。传感器的感温单元设计为蛇形结构,可以共形贴附于曲面。制备过程中,采用磁控溅射技术在已图形化的柔性基板表面沉积铂,省去光刻、显影等工艺,直接完成对铂薄膜的图形化。在25~45℃的温度范围内,传感器的电阻温度系数为0.002 8/℃,分辨率为0.1℃,能够满足体温测量对传感器性能的要求。将传感器集成至耳机耳塞上,并通过标定实验得到电阻-温度关系公式。研发了基于传感器的无线入耳式体温监测系统,结合手机应用程序(APP)进行实际体温测量。在36.3~36.7℃的温度范围内,对同一位使用者测温的平均误差为±0.058℃,表明该传感器能够准确获取耳内体温。

关 键 词:温度传感器  柔性传感器  微机电系统(MEMS)传感器  可穿戴设备  体温监测
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