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| 158MHz GaAs声表面波固定延迟线的研制 | |
| 引用本文： | 李洪芹,夏冠群. 158MHz GaAs声表面波固定延迟线的研制[J]. 半导体学报, 2000, 21(1) |
| 作者姓名： | 李洪芹 夏冠群 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 上海 200050 |
| 摘 要： | 报道了GaAs声表面波(SAW)固定延迟线的设计方法和SAW器件金属剥离制造新工艺.研制出GaAs SAW延迟线，典型参数为：中心频率158MHz，插入损耗低于55dB，延迟时间1.5μs. |
| 关 键 词： | 延迟线 声表面波 GaAs |
158MHz Surface Acoustic Wave Fixed- Delay Line on GaAs |
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