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| 动态投影光刻光栅 | |
| 作者单位： | 北京机床研究所 |
| 摘 要： | 随着我国社会主义经济建设事业的迅速发展,对于机床和仪器等方面实现数字化和数字控制提出了越来越多的要求。而计量光栅是实现这一数字化和数控系统中的一种可靠元件。过去几年中一些生产光栅的单位主要是采用机械刻划的办法,它在生产中也起到了不少作用,但是这种方法刻划时间长(长度为一米的 |
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