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| 沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响简 | |
| 引用本文： | 姜金龙,黄浩,王琼,王善民,魏智强,杨华,郝俊英.沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响简[J].物理学报,2014(2):350-356. |
| 作者姓名： | 姜金龙 黄浩 王琼 王善民 魏智强 杨华 郝俊英 |
| 摘 要： | |
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