| 一种新型STM纳米计量仪 |
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| 引用本文： | 李艳宁,饶志军,唐洁,宋晓辉,胡晓东,付星,，胡小唐.一种新型STM纳米计量仪[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2004,37(12):1069-1072. |
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| 作者姓名： | 李艳宁 饶志军 唐洁 宋晓辉 胡晓东 付星 ，胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50305025)，天津市自然科学基金项目(F204008). |
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| 摘 要： | 阿贝(Ahbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高，故提出了一种新型STM纳米计量仪器，采用3个微型激光干涉仪与STM联用．微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空问位移。与其它STM纳米计量仪器相比，该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器，将扫描分为Z向和X-Y平面扫描两部分，Z向扫描由独立的PZT驱动，X-Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成．这种设计理论上能使Z方向上Ahbe误差完全消除，X-Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半，最大50μm，使Abbe误差减小至可忽略的程度．微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差。
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 Ahbe误差 柔性铰链 激光干涉仪 |
| 文章编号： | 0493-2137(2004)12-1069-04 |
| 修稿时间： | 2003年6月2日 |
Novel Design of Nanometer Metrology-STM |
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| LI Yan-ning,RAO Zhi-jun,TANG Jie,SONG Xiao-hui,HU Xiao-dong,FU Xing,HU Xiao-tangd Instruments,Tianjin University,Tianjin ,China.Novel Design of Nanometer Metrology-STM[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2004,37(12):1069-1072. |
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| Authors: | LI Yan-ning RAO Zhi-jun TANG Jie SONG Xiao-hui HU Xiao-dong FU Xing HU Xiao-tangd Instruments Tianjin University Tianjin China |
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| Affiliation: | LI Yan-ning,RAO Zhi-jun,TANG Jie,SONG Xiao-hui,HU Xiao-dong,FU Xing,HU Xiao-tangd Instruments,Tianjin University,Tianjin 300072,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | scanning tunneling microscope (STM) Abbe error flexible hinge laser interferometers |
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