应用射频辉光放电离子源的表面分析四极质谱计的研究

本文从四极质谱计所需入射离子的初始条件出发,详细研究和测试了平板二极型射频辉光放电离子源的离子的能量分布、信号强度以影响因素等,确立了满足表面分析四极质谱计的放电条件。为达到痕量分析目的,离子源和分析器必须呈偏转方式安装。该表面分析四级质谱计的显著特点是等灵敏度和分析材料(金属、介质和半导体)的任意性。该仪器结构简单,操作方便,价格低廉,历于普及。除不能作微区分析外,具有一般SIMS的类似用途。