| 高温化学气相沉积TiC/Ti(CxN1-x)/TiN层的组织结构及摩擦磨损性能 |
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| 引用本文： | 王莉,张进,薛屺,范萍.高温化学气相沉积TiC/Ti(CxN1-x)/TiN层的组织结构及摩擦磨损性能[J].材料保护,2013,46(5):54-57,2. |
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| 作者姓名： | 王莉 张进 薛屺 范萍 |
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| 作者单位： | 西南石油大学材料科学与工程学院,四川成都,610500 |
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| 基金项目： | 四川省教育厅面上项目，西南石油大学本科生开放实验基金 |
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| 摘 要： | Ti(CxN1-x)涂层具有硬度大、强度高、耐磨等性能,而目前采用化学气相沉积法在不锈钢表面制备Ti(CxN1-x)多层涂层的报道较少。用高温化学气相沉积法在316L不锈钢表面分别制备了TiN单层涂层和TiC/Ti(CxN1-x)/TiN多层涂层,比较分析了2种涂层的显微形貌、相结构、硬度、界面结合力及耐磨性能。结果表明:TiC/Ti(CxN1-x)/TiN多层涂层结构致密,厚约10μm;TiN单层及TiC/Ti(CxN1-x)/TiN多层涂层均提高了316L不锈钢的硬度、耐磨性;与TiN单层涂层相比,TiC/Ti(CxN1-x)/TiN多层涂层的显微硬度和界面结合力更好,摩擦系数更低,磨损量更小,耐磨减摩性能更好;2种涂层的磨损破坏机制较一致,主要为磨粒磨损和摩擦氧化。
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| 关 键 词： | TiC/Ti(CxN1-x)/TiN涂层 高温化学气相沉积 316L不锈钢 组织结构 硬度 结合力 摩擦磨损 |
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