| 等离子体金属表面氮化中放电温度对氮原子态粒子的影响 |
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| 引用本文： | 张连珠,于富强,孔令宜,何琪.等离子体金属表面氮化中放电温度对氮原子态粒子的影响[J].计算物理,2004,21(2):173-178. |
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| 作者姓名： | 张连珠 于富强 孔令宜 何琪 |
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| 作者单位： | 河北师范大学物理学院, 河北 石家庄 050016 |
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| 摘 要： | 采用快电子和重粒子(N2+,N+,Nf)混合的Monte Carlo模型,研究了氮直流辉光放电等离子体金属表面氮化过程中.e-N2s及N2+-N2s两种碰撞离解过程产生的原子态粒子(N+,N)的产生率和氮化粒子(N+,Nf)轰击靶表面的能量、粒子数密度及入射角分布随气体温度的变化规律.结果表明,使阴极靶处活性粒子(N+,Nf)的能量高且粒子数密度大,存在一个最佳放电温度;粒子(N+,N)的产生率及在靶表面的密度数都随着放电气体温度的升高而减少;有大量中性快原子Nf在工件表面小角入射,且粒子(N+,Nf)角分布受温度的影响很小.
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| 关 键 词： | 金属表面氮化 氮直流辉光放电 Monte Carlo模拟 N2+-N2离解碰撞 |
| 文章编号： | 1001-246X(2004)02-0173-06 |
| 收稿时间： | 2003-03-19 |
| 修稿时间： | 2003年3月19日 |
The Effect of Discharge Temperature upon Atomic Species in Plasma Nitriding of Steel Surface |
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| ZHANG Lian-zhu,\ Yu Fu-qiang,\ KONG Ling-yi,\ HE Qi.The Effect of Discharge Temperature upon Atomic Species in Plasma Nitriding of Steel Surface[J].Chinese Journal of Computational Physics,2004,21(2):173-178. |
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| Authors: | ZHANG Lian-zhu \ Yu Fu-qiang \ KONG Ling-yi \ HE Qi |
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| Affiliation: | College of Physics, Hebei Normal Unversity, ShiJiaZhuang 050016, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Steel surface nitriding nitrogen dc glow discharg Monte Carlo simutation N~-2-N\-2 dissociation collisions |
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