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| 半导体材料Si与GaAs的发展前景 | |
| 引用本文： | 陈隆章.半导体材料Si与GaAs的发展前景[J].微电子学,1990,20(6):82-85. |
| 作者姓名： | 陈隆章 |
| 作者单位： | 机电部二十四所 |
| 摘 要： | 随着微电子技术向高密集度、高可靠性方向发展,对半导体材料的要求也越来越高。GaAs材料的异军突起,打破了Si材料一统天下的局面。通过对它们的材料特性和器件特性进行比较,我们发现:只有兼二者之长的材料才能满足未来器件的需要。 |
| 关 键 词： | 半导体材料 Si GaAs |
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