| 一种亚微米压电柔性微动系统设计及性能分析 |
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| 作者姓名： | 张传伟 李妞妞 杨满芝 郭卫 许可俊 葛红玉 |
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| 作者单位： | 西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 710054;西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 710054;西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 710054;西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 710054;西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 710054;西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 710054 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅专项科研项目;陕西省自然科学基础研究计划;西安市科技项目;国家自然科学基金;陕西省重点研发项目 |
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| 摘 要： | 为获得精密直线运动输出,设计一种压电柔性微驱动系统,系统由压电致动器及柔性微动机构组成,在压电致动器驱动下系统具有亚微米级定位精度。基于柔性铰链导向、传动原理,设计了一种精密柔性微动机构,在此基础上提出了压电柔性微驱动系统设计方案。采用有限元法对系统进行了运动学分析、强度分析、动态分析,分析结果显示,系统具有定位精度高(最大定位误差为0. 24μm)、强度性能好、动态性能优良等优势。研究对微驱动系统研究及应用具有一定的参考价值。
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| 关 键 词： | 亚微米 压电致动器 柔性 微驱动系统 |
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