| 电极层对压电微悬臂梁动态性能的影响 |
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| 引用本文： | 陶云,孙长敬.电极层对压电微悬臂梁动态性能的影响[J].微细加工技术,2006(4):53-56. |
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| 作者姓名： | 陶云 孙长敬 |
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| 作者单位： | 中国计量学院,机电工程学院,杭州,310018 |
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| 摘 要： | 采用解析方法就电极层对压电微悬臂梁动态性能的影响进行了研究,并得出结论:当弹性层、压电层与电极层的厚度比值较大时,可忽略电极层对压电悬臂梁横向位移及谐振频率的影响。当各层的厚度都在微纳米量级时,电极层的影响不容忽视;同时,微纳尺度下该解析方法的适用性还有待进一步研究。这些对微纳尺度下压电悬臂梁的设计及应用都有一定的指导作用。
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| 关 键 词： | 电极层 压电悬臂梁 动态性能 |
| 文章编号： | 1003-8213(2006)04-0053-04 |
| 修稿时间： | 2005年10月17 |
Effect of Electrode Layer on Dynamic Performance of Piezoelectric Cantilever |
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| TAO Yun,SUN Chang-jing.Effect of Electrode Layer on Dynamic Performance of Piezoelectric Cantilever[J].Microfabrication Technology,2006(4):53-56. |
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| Authors: | TAO Yun SUN Chang-jing |
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| Abstract: | The effect of electrode layer on the dynamic performance of micro piezoelectric cantilever were investigated analytically.The results show that the effects of electrode layer on the lateral displacement and resonance frequency of micro piezoelectric cantilever can be neglected when the thickness ratios of elastic and piezoelectric layer to the electrode layer are large,but these effects can not be neglected when the thickness of all layers are in the micro/nano scale. |
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| Keywords: | electrode layer piezoelectric cantilever dynamic performance |
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