| 反应气压对生长金刚石膜的影响 |
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| 引用本文： | 孙冰,李明标,赵乐发. 反应气压对生长金刚石膜的影响[J]. 渤海大学学报(自然科学版), 2008, 29(1): 75-76 |
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| 作者姓名： | 孙冰 李明标 赵乐发 |
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| 作者单位： | 渤海大学,物理系,辽宁,锦州,121013;辽宁大学,物理学院,辽宁,沈阳,110036 |
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| 摘 要： | 实验以CH3CH2OH和H2 为气源,用微波等离子体CVD法沉积金刚石膜,并用金相显微镜(×400)观察其沉积效果,X射线衍射仪表征其成膜质量,最后分析反应气压对金刚石膜的影响.
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| 关 键 词： | 微波等离子体 金刚石膜 金相显微镜 X射线衍射 |
| 文章编号： | 1673-0569(2008)01-0075-02 |
| 修稿时间： | 2007-09-15 |
Influence of reaction pressure on growth of diaomond film |
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| SUN Bing,LI Ming-biao,ZHAO Le-fa. Influence of reaction pressure on growth of diaomond film[J]. Journal of Bohai University:Natural Science Editio, 2008, 29(1): 75-76 |
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| Authors: | SUN Bing LI Ming-biao ZHAO Le-fa |
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