| 一种用于薄膜热容测量的微热量计的设计与制作 |
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| 引用本文： | 宋青林,崔铮,夏善红,陈绍凤.一种用于薄膜热容测量的微热量计的设计与制作[J].微纳电子技术,2003,40(7):122-125. |
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| 作者姓名： | 宋青林 崔铮 夏善红 陈绍凤 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080
2. 英国卢瑟福实验室,微结构中心 |
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| 基金项目： | 国家"973"计划项目(G1999033102) |
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| 摘 要： | 目前已发现并证实薄膜的热导率和热扩散率存在着尺寸效应。本文为了研究薄膜的另一个热学性质比热是否也具有尺寸效应,提出了一种用于薄膜热容测量的新方法,其相应的实验器件为一悬膜结构。从理论上阐述了其测量原理,结合ANSYS热学模拟设计并利用微机械加工技术制作出SiO2悬膜结构,悬膜由两个悬臂支撑,在悬膜上制作了Pt薄膜电阻同时用于加热和测温。这种结构加快了样品、悬膜和加热/测温电阻之间的热传递,减小了悬膜的热损失,提高了测量精度。
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| 关 键 词： | 薄膜材料 热容测量 微热量计 设计 比热 悬膜 尺寸效应 热学模拟 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0122-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Design and fabrication of microcalorimeter for measuring heat capacity of thin films |
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