| 可见/红外双波段阵列式滤光片设计与制作工艺研究 |
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| 引用本文： | 梁华锋,赖建军,周光超,李小平.可见/红外双波段阵列式滤光片设计与制作工艺研究[J].红外与激光工程,2007,36(Z1). |
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| 作者姓名： | 梁华锋 赖建军 周光超 李小平 |
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| 摘 要： | 双波段阵列式滤光片是集成式可见,红外双波段传感器的核心部件,分别采用干涉截止滤光方法和干涉吸收滤光法设计了蓝宝石衬底上红外和可见光波段的滤光膜系,实际测量两个波段的滤光膜的平均透过率均达到90%以上.同时采用光刻、电子束蒸发镀膜和剥离工艺完成了滤光片的制作.
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| 关 键 词： | 微型滤光片阵列 剥离工艺 双波段 |
Design and fabricating of visible/infrared dual-band micro-filter array |
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| LIANG Hua-feng,LAI Jian-jun,ZHOU Guang-chao,LI Xiao-ping.Design and fabricating of visible/infrared dual-band micro-filter array[J].Infrared and Laser Engineering,2007,36(Z1). |
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| Authors: | LIANG Hua-feng LAI Jian-jun ZHOU Guang-chao LI Xiao-ping |
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