| 等离子体湮没离子注入 |
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| 引用本文： | 夏立芳 孙跃. 等离子体湮没离子注入[J]. 金属热处理, 1995, 0(2): 3-6 |
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| 作者姓名： | 夏立芳 孙跃 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学!哈尔滨150001 |
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| 摘 要： | 本文扼要地介绍了等离子体湮没离子注入的基本原理，特点，应用效果及发展趋向。
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| 关 键 词： | 等离子体 离子注入 湮没 等离子喷涂 |
Plasma Immersion Ion Implantation |
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| Xia Lifang, Sun Yue, Ma Xinxin. Plasma Immersion Ion Implantation[J]. Heat Treatment of Metals, 1995, 0(2): 3-6 |
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| Authors: | Xia Lifang Sun Yue Ma Xinxin |
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| Affiliation: | Xia Lifang; Sun Yue; Ma Xinxin |
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| Abstract: | This paper summarises the principle, characters, application and trend of development of Plasma Immersion Ion Implantation. |
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| Keywords: | Plasma Ion Beam Implantation Plasma Immersion Ion Implantation |
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