大面积自支撑金刚石膜的机械研磨研究 |
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作者姓名: | 文星凯 魏俊俊 刘金龙 陈良贤 黑立富 李成明 |
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作者单位: | 新材料与技术研究所,北京科技大学 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(51272042);教育部博士点基金(2011000110011) |
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摘 要: | 用100 kW级直流等离子体喷射系统制备金刚石自支撑膜,采用机械研磨方法对其进行平坦化加工。实验研究了不同研磨盘转速和不同压力对研磨的影响,分别用扫描电镜、数显千分表和X射线光电子能谱仪对金刚石膜研磨前后的表面形貌、厚度和金刚石去除机理进行了表征和分析。结果表明:研磨的转速和压力对膜的表面形貌和磨削速率影响非常明显,研磨盘转速为40 r/min,压力为0.50 MPa时,研磨效果较佳,磨削速率达到了80.5μm/h;研磨后的金刚石表面未发现有铁元素存在,金刚石的去除机理主要为微切削和应力诱导的金刚石膜局部石墨化。
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关 键 词: | 大面积金刚石自支撑膜 机械研磨 应力诱导 局部石墨化 |
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