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| 双频大气压冷等离子体射流制备TiO_2的表面形貌研究 | |
| 作者姓名： | 袁强华 李洋 张亚东 鉴霄阳 |
| 作者单位： | 西北师范大学物理与电子工程学院; |
| 摘 要： | 利用N_2携带先驱体钛酸异丙酯,通过双频驱动的Ar/O_2大气压冷等离子体制备了TiO_2薄膜,探究了不同放电参数对TiO_2表面形貌的影响.研究结果表明,不同的放电参数可以制备出纳米纤维状、球状和塌陷的球状不同形貌的TiO_2.制备的TiO_2包含锐钛矿相和金红石相.同时利用光谱仪和射频分析仪对离子体的光学特性和电学特性进行了检测. |
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