| 一种新型集成微麦克风和扬声器的设计 |
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| 引用本文： | 任天令,张林涛,刘理天,李志坚.一种新型集成微麦克风和扬声器的设计[J].电子器件,2000,23(4):233-237. |
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| 作者姓名： | 任天令 张林涛 刘理天 李志坚 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子所 北京 100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!( 6980 60 0 7) |
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| 摘 要： | 基于现有的硅基Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺，提出了一种用于微麦克风和扬声器的新型ＰＺＴ悬臂式振膜结构。对这种悬臂结构的结构参数进行了优化设计，并对其灵敏度的声输出进行了理论分析。结果表明采用这种ＰＺＴ悬臂式结构的微麦克风和扬声器的性能有望超过以往文献中报道过的微麦克风和扬声器。
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| 关 键 词： | 集成微麦克风 微扬声器 铁电薄膜 设计 |
| 文章编号： | 1005-9490(2000)04-0233-05 |
| 修稿时间： | 2000年6月5日 |
Design of a New Integrated Microphone and Microspeaker |
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| Abstract: | Based on the fabrication process of PZT thin films, a new PZT cantilever structure applied to the integrated microphone and microspeaker is proposed. The structure parameters are optimized theoretically. The sensitivity and output sound pressure of this device are calculated. Differences between PZT and ZnO cantilever structures show that the properties of this PZT based microphone and microspeaker should be better than other kinds of microphones and microspeakers reported before. |
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| Keywords: | integrated microphone and microspeaker PZT ferroelectric thin film cantilever structu` |
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