| O.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-O.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究 |
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| 引用本文： | 张清涛,李艳秋,尚永红,刘少波.O.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-O.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究[J].中国机械工程,2005,16(Z1):359-362. |
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| 作者姓名： | 张清涛 李艳秋 尚永红 刘少波 |
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| 作者单位： | 中国科学院电工技术研究所,北京,100080 |
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| 基金项目： | 中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目(20011215);国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404150) |
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| 摘 要： | 利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究了凝胶的热解过程,确定了420℃为溶胶的热解温度,750℃为合理的结晶温度;以Pt/Ti/Si(100)为衬底,成功地制备了0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3铁电薄膜.通过X射线衍射分析了热处理温度对薄膜相的影响.通过高倍显微镜研究了薄膜的表面形态,通过ZT-Ⅱ型铁电参数测试仪对PMNT薄膜进行了铁电性能测试.测试结果表明,制备的PMNT铁电薄膜为具有完全钙钛矿相的弛豫性PMNT铁电薄膜,薄膜无裂纹,致密性好,其剩余极化和矫顽场分别可达到2.5μC/cm2和45kV/cm.
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| 关 键 词： | Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT) 溶胶凝胶 铁电薄膜 钙钛矿相 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0359-04 |
| 修稿时间： | 2005年4月9日 |
Preparation and Property Research of 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3 Thin Films |
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| Zhang Qingtao,Li Yanqiu,Shang Yonghong,Liu Shaobo.Preparation and Property Research of 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3 Thin Films[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):359-362. |
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| Authors: | Zhang Qingtao Li Yanqiu Shang Yonghong Liu Shaobo |
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