| R电容式硅微加速度传感器静态误差的标定 |
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| 引用本文： | 刘恒,何晓平,苏伟,张富堂.R电容式硅微加速度传感器静态误差的标定[J].现代科学仪器,2009(1):24-26. |
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| 作者姓名： | 刘恒 何晓平 苏伟 张富堂 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学通信工程学院,重庆,400030
2. 中国工程物理研究院电子工程研究所,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 静态误差广泛存在于各种加速度传感器的应用中，对于误差的标定非常重要。本文介绍了电容式加速度传感器的结构，并分析其工作原理。对于加速度传感器的量程，采用精密离心机来标定静态误差，具体介绍了离心机实验过程，成功地实现了对加速度传感器静态误差的标定，并给出了电容式加速度传感器的标定数据和结果，标定结果使加速度传感器测量的线性度得到了很大的提高。标定方法也适用于其他类型加速度传感器。
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| 关 键 词： | 微加速度传感器 静态误差 标定 线性度 |
Static Error Calibration of Micro - Machined Capacitance Accelerometer |
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| Liu Heng,He Xiaoping,Su Wei,Zhang Futang.Static Error Calibration of Micro - Machined Capacitance Accelerometer[J].Modern Scientific Instruments,2009(1):24-26. |
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| Authors: | Liu Heng He Xiaoping Su Wei Zhang Futang |
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| Affiliation: | Liu Heng , He Xiaoping , Su Wei , Zhang Futang ( 1 College of Communication engineering, University of Chong Qing, Chong Qing,400030, China) ( 2 Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, 621900, China ) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro - accelerometer Static error Calibration Linear scale |
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