| 电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片 |
| |
| 引用本文： | 王德强,曹磊峰,谢常青,叶甜春. 电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片[J]. 半导体学报, 2006, 27(6): 1147-1150 |
| |
| 作者姓名： | 王德强 曹磊峰 谢常青 叶甜春 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所 微细加工与纳米技术实验室，北京 100029;中国工程物理研究院激光聚变研究中心，绵阳 621900;中国科学院微电子研究所 微细加工与纳米技术实验室，北京 100029;中国科学院微电子研究所 微细加工与纳米技术实验室，北京 100029 |
| |
| 基金项目： | 中国科学院资助项目 , 国家科技攻关项目 , 教育部"同步辐射创新中心"研究生创新基金 |
| |
| 摘 要： | 在硅为衬底材料的自支撑氮化硅薄膜上,采用阴阳图形互换转移技术,先使用电子束直写方法制作成功了最外环为150nm的阳图形微波带片,然后用同步辐射X射线光刻技术复制成功了最外环为150nm的阴图形微波带片,得到可以应用于ICF诊断技术中的微波带片.
|
| 关 键 词： | 电子束 X射线光刻 微波带片 菲涅耳波带片 电子束直写 射线 光刻 制作 高分辨率 波带片 Lithography Plates Zone Micro 诊断技术 应用 技术复制 同步辐射 外环 方法 使用 转移技术 图形 阴阳 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)06-1147-04 |
| 收稿时间： | 2005-09-08 |
| 修稿时间： | 2005-12-20 |
Fabrication of Micro Zone Plates by E-Beam and X-Ray Lithography |
| |
| Wang Deqiang,Cao Leifeng,Xie Changqing and Ye Tianchun. Fabrication of Micro Zone Plates by E-Beam and X-Ray Lithography[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2006, 27(6): 1147-1150 |
| |
| Authors: | Wang Deqiang Cao Leifeng Xie Changqing Ye Tianchun |
| |
| Affiliation: | Laboratory of Micro-Processing and Nano-Technology,Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China;Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621900,China;Laboratory of Micro-Processing and Nano-Technology,Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China;Laboratory of Micro-Processing and Nano-Technology,Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China |
| |
| Abstract: | This paper introduces a method for fabricating state-of-the-art micro-zone plates(MZP) on free-standing silicon nitride based on silicon using electron beam lithography and positive resist ZEP 520A.A bright field MZP master mask with an outermost width of 150nm is fabricated with an e-beam machine.In order to get the dark field high aspect ratio and the batch product of the MZP,we replicate the MZP mask by using synchrotron radiation X-ray lithography(XRL).Finally,we successfully replicate an MZP for an ICF diagnostics experiment. |
| |
| Keywords: | e-beam XRL micro zone plates Fresnel zone plates |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
