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| 基于MBE的GaAlAs／GaAs分布反馈式半导体激光器的制作新工艺 | |
| 作者姓名： | 罗毅 张盛忠 司伟民 陈镝 王健华 |
| 作者单位： | 清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室 |
| 摘 要： | 利用分子束外延（ＭＢＥ）对ＧａＡＩＡｓ和ＧａＡｓ的选择性热蚀特性进行光栅上的二次外延生长，既能获得清洁的外延界面，又能精确控制光栅的形状．采用这种方法，我们在国际上首次成功地制作了完全ＭＢＥ生长的内含吸收光栅的ＧａＡｌＡｓ／ＧａＡｓ多量子阱增益耦合型分布反馈式（ＤＦＢ）半导体激光器．并实现了激光器在室温下的脉冲激射，、器件表现出了ＤＦＢ模式的单模工作特性． |
| 关 键 词： | 半导体激光器 分子束外延 砷化镓 砷化铝镓 |
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