| 环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究 |
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| 引用本文： | 王孝坤,张学军,王丽辉,郑立功.环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究[J].光学精密工程,2006,14(4):527-532. |
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| 作者姓名： | 王孝坤 张学军 王丽辉 郑立功 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100039
2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 摘 要： | 利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测.介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径.
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| 关 键 词： | 环形子孔径拼接 非球面检验 干涉术 Zernike多项式拟合 计算机模拟 |
| 文章编号： | 1004-924X(2006)04-0527-06 |
| 收稿时间： | 2005-11-22 |
| 修稿时间： | 2006-06-18 |
Mathematical model and simulation for testing aspheric surface by annular subaperture stitching interferometry |
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| WANG Xiao-kun,ZHANG Xue-jun,WANG Li-hui,ZHENG Li-gong.Mathematical model and simulation for testing aspheric surface by annular subaperture stitching interferometry[J].Optics and Precision Engineering,2006,14(4):527-532. |
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| Authors: | WANG Xiao-kun ZHANG Xue-jun WANG Li-hui ZHENG Li-gong |
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| Affiliation: | 1. C Changchun Institute of Optics hinese Academy of Sciences , ,Fi Cha 2. Graduate School of the Chinese Academy ne Mechanics and Physics ngchun 130033 , China; of Sciences , Beijing 100039,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | annular subaperture stitching aspheric surface testing interferometry Zernike polynomial fitting computer simulation |
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