(1-x)TiO2-xTa2O5薄膜的光学性能研究 |
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作者姓名: | 王汉华 薛亦渝 郭培涛 张光勇 马中杰 |
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作者单位: | 武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉430070 |
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摘 要: | TiO2-xTa2O5薄膜是较新颖的光学薄膜,由均匀混合的两种化合物薄膜材料作为膜料研制而成,本文采用离子辅助蒸发的方法,以不同配比的Ta2O5和TiO2混合物为初始膜料在K9玻璃上制备了TiO2-xTa2O5混合薄膜,并对其光学性能进行研究。实验结果表明,TiO2-Ta2O5薄膜在可见光范围内有较高的透射率,消光系数在10-3~10.4数量级,折射率在1.80~2.07范围内变化(550nm),是理想的光学镀膜材料。随着Ta2O5含量从0增加到20%,光学带隙从3.266eV单调增加到3.417eV,并用Kayanuma提出的模型解释了透射谱中吸收边的漂移现象。
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关 键 词: | 薄膜 TiO2-xTa2O5 透射率 光学常数 光学带隙 |
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