气体润滑轴承技术的应用及发展趋势

气体润滑轴承是一种以气体作为润滑剂的滑动轴承.自二十世纪六十年代以来,随着原子能、航天技术、微电子学、信息技术及生物工程等新兴科学技术的发展,加工精度越来越高,从mm到μm、亚微米,现在已经发展到mm水平,并向着原于晶格尺寸(亚纳米)水平迈进,称之为超精密加工.加工精度的高指标,形成对加工设备的高要求,推动了它的进步.无论是精密加工机械,还是测量仪器,都对其机械部分提出了高精度、高速度、高分辨率、热稳定性好,低振动、爬行小、少污染及降低设备成本等方面的严格要求.人们在实践中发现,气体静压轴承正是解决上述困难的重要途径.这是因为气体静压轴承有以下几方面的特