| 离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 曹猛,李强,杨莹,邓湘云,李德军.离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响[J].真空科学与技术学报,2008,28(Z1):29-32. |
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| 作者姓名： | 曹猛 李强 杨莹 邓湘云 李德军 |
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| 作者单位： | 天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300387 |
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| 基金项目： | 天津市科技计划国际合作项目 |
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| 摘 要： | 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZxN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响.结果表明大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当辅助束流为5 mA时,多层膜硬度达到30.6 GPa.基底温度的升高,会显著降低薄膜的残余应力,但对薄膜的硬度,摩擦系数没有明显影响.
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| 关 键 词： | 离子束辅助沉积 ZrN/TiAlN纳米多层膜 硬度 离子束流 基底温度 离子束流 基底温度 TiAlN 纳米硬度 膜性能 影响 Mechanical Properties Conditions Deposition Multilayered Coatings 摩擦系数 残余应力 材料硬度 平均值 模量值 弹性 纳米多层膜 结果 机械性能 微结构 |
| 文章编号： | 1672-7126(2008)增刊-029-04 |
| 修稿时间： | 2007年8月25日 |
Deposition Conditions and Mechanical Properties of ZrN/TiAlN Nanoscaled Multilayered Coatings |
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| Cao Meng,Li Qiang,Yang Ying,Deng Xiangyun,Li Dejun.Deposition Conditions and Mechanical Properties of ZrN/TiAlN Nanoscaled Multilayered Coatings[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2008,28(Z1):29-32. |
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| Authors: | Cao Meng Li Qiang Yang Ying Deng Xiangyun Li Dejun |
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