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发明与专利

摘要：	一种磁驱动增大检测电容的微惯性传感器；一种嵌入可动电极的微惯性传感器；液位传感器；行程传感器；复合材料格栅传感器；
关键词：	微惯性传感器专利发明液位传感器行程传感器复合材料磁驱动
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