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原子力显微镜图像小波去噪方法的研究
引用本文:徐立军,李松云,龚立艳,商广义,姚骏恩. 原子力显微镜图像小波去噪方法的研究[J]. 电子显微学报, 2009, 28(2): 135-140
作者姓名:徐立军  李松云  龚立艳  商广义  姚骏恩
作者单位:北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京,100191;北京航空航天大学,理学院,北京,100191
基金项目:国家自然科学基金专项基金,国家重点基础研究发展规划(973计划) 
摘    要:将小波阈值收缩去噪技术应用于原子力显微镜图像处理中,着重对阈值确定过程中阈值修正算法及阈值函数选取进行了讨论,对比了各种方法的优缺点,针对噪声较大的原子力显微镜图像,提出一种改进的修正阈值滤波方法,并给出了具体算法。采用原子力显微镜扫描的光盘膜图像对所提算法进行了实验研究,对采用不同阈值及阈值函数获得的结果进行了对比。该结果验证了所提方法的有效性。

关 键 词:小波变换  原子力显微镜  数字图像处理  噪声  方差估计

Wavelet denoising of atomic force microscopic images
XU Li-jun,LI Song-yun,GONG Li-yan,SHANG Guang-yi,YAO Jun-en. Wavelet denoising of atomic force microscopic images[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2009, 28(2): 135-140
Authors:XU Li-jun  LI Song-yun  GONG Li-yan  SHANG Guang-yi  YAO Jun-en
Affiliation:1.School of Instrument Science & Opto-Electronics Engineering;Beihang University;Beijing 100191;2. School of Science;China
Abstract:Wavelet-shrinkage-based image denoising technique was applied to noisy images obtained by an atomic force microscope (AFM). Emphasis was made on the selection of and evaluation on the threshold modifier and threshold function. A modified thresholding method was proposed for denoising AFM images that were of higher level of noise. The corresponding algorithm was given. A typical AFM image of a CD surface was employed to evaluate the performance of the modified method. The results were presented and discussed...
Keywords:wavelet transform  atomic force microscope (AFM)  digital image processing  noise  variance estimation  
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