| 3W全固态355nm Nd∶YAG激光器 |
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| 引用本文： | 冯衍,毕勇,张鸿博,姚爱芸,王桂玲,林学春,汪家升,许祖彦,朱镛,陈创天.3W全固态355nm Nd∶YAG激光器[J].中国激光,2002,29(8). |
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| 作者姓名： | 冯衍 毕勇 张鸿博 姚爱芸 王桂玲 林学春 汪家升 许祖彦 朱镛 陈创天 |
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| 作者单位： | 冯衍,毕勇,张鸿博,姚爱芸,王桂玲,林学春,汪家升,许祖彦(中国科学院物理研究所,北京,100080);朱镛,陈创天(中国科学院理化技术研究所,北京,100080) |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 高平均功率全固态调Q 355 nm激光器在微电子、激光加工,科研等领域有着广泛应用,如在电路板加工与立体印刷方面.电路板加工要求紫外激光在高重复频率时提供大于300 μJ的脉冲能量;立体印刷技术要求的是平均功率(一般在0.4～1 W之间).而一般的激光材料加工要求的平均功率在5～10 W水平.美国光谱物理公司用端抽运Nd∶YVO4激光获得了12 W,30 kHz的355 nm激光1];日本三菱公司获得了18 W,25 kHz的Nd∶YAG 355 nm激光2].我们采用双棒串接热致双折射补偿谐振腔设计及临界相位匹配的KTP和LBO晶体,经过初步实验,获得了3.4 W,4 kHz的三倍频输出.
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