| 半绝缘GaAs的欧姆接触电极材料Ag/Co掺杂的非晶碳膜制备与检测 |
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| 引用本文： | 杜维嘉,翟章印,吉帅,藏婷玉. 半绝缘GaAs的欧姆接触电极材料Ag/Co掺杂的非晶碳膜制备与检测[J]. 大学物理, 2017, 36(6). DOI: 10.16854/j.cnki.1000-0712.2017.06.019 |
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| 作者姓名： | 杜维嘉 翟章印 吉帅 藏婷玉 |
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| 作者单位： | 淮阴师范学院物理系,江苏淮安,223300 |
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| 基金项目： | 江苏省自然科学基金,江苏省高等学校大学生创新创业训练计划项目 |
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| 摘 要： | 稳定的欧姆接触对半导体器件的正常工作起到至关重要的作用.目前市场上主要采用金/金锗镍合金作为n型GaAs的电极材料,工艺复杂,成本高昂.本文研究了一种新型的、廉价的适用于半绝缘GaAs的欧姆接触电极材料Ag/Co掺杂的非晶碳膜及其制备过程,以便于读者对半导体器件的制备工艺和流程有所了解.
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| 关 键 词： | 半绝缘砷化镓 欧姆接触 光电导 |
Preparation and detection of an ohmic contact electrode material Ag/Co doped amorphous carbon film for semi-insulated GaAs |
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| DU Wei-jia,ZHAI Zhang-yin,JI Shuai,ZANG Ting-yu. Preparation and detection of an ohmic contact electrode material Ag/Co doped amorphous carbon film for semi-insulated GaAs[J]. College Physics, 2017, 36(6). DOI: 10.16854/j.cnki.1000-0712.2017.06.019 |
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| Authors: | DU Wei-jia ZHAI Zhang-yin JI Shuai ZANG Ting-yu |
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