| 基于标准CMOS工艺的热真空传感器片上系统 |
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| 引用本文： | 李金凤,唐祯安,汪家奇. 基于标准CMOS工艺的热真空传感器片上系统[J]. 半导体学报, 2009, 30(3): 035004-5 |
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| 作者姓名： | 李金凤 唐祯安 汪家奇 |
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| 作者单位： | Department;Electronic;Engineering;Dalian;University;Technology;College;Information;Shenyang;Institute;Chemical; |
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| 摘 要： | 摘要：研制了基于0.5 µm 标准CMOS工艺的,用于气压测量的片上微机电系统。传感器采用微热板结构并与轨至轨运算放大器及8 位逐次逼近式模数转换器进行单片集成。微热板上的钨电阻作为敏感元件用来测量气压变化。牺牲层由多晶硅制作，并采用表面微加工工艺进行腐蚀。配置运算放大器使传感器工作在恒电流模式。系统输出一组数字位流。测量结果表明：真空传感器的气压敏感区间是1-105 Pa。在1-100 Pa的气压范围内，传感器的灵敏度为0.23 mV/ Pa，线性度为4.95%，最大迟滞为8.69%。运算放大器能不失真地驱动200 Ω的电阻，SAR A/D转换器在采样频率为100 kHz时有效位为7.4位。运算放大器及SAR A/D转换器的性能满足传感器系统的要求。
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| 关 键 词： | 微热板；热真空传感器；单片集成；运算放大器；逐次逼近式模数转换器 |
| 收稿时间： | 2008-09-10 |
Systemon chip thermal vacuum sensor based on standard CMOS process |
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| Li Jinfeng,Tang Zhen''an and Wang Jiaqi. Systemon chip thermal vacuum sensor based on standard CMOS process[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2009, 30(3): 035004-5 |
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| Authors: | Li Jinfeng Tang Zhen''an Wang Jiaqi |
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| Affiliation: | Department of Electronic Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China;College of Information Engineering, Shenyang Institute of Chemical Technology, Shenyang 110142, China;Department of Electronic Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China;Department of Electronic Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-hotplate thermal vacuum sensor monolithic operational amplifier SAR ADC |
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