| 基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术 |
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| 引用本文： | 夏豪杰,费业泰,范光照,程方. 基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术[J]. 纳米技术与精密工程, 2007, 5(4): 311-314 |
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| 作者姓名： | 夏豪杰 费业泰 范光照 程方 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥,230009;合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥,230009;合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥,230009;合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥,230009 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于正交衍射光栅作为测量基准元件的二维激光干涉测量系统.利用正交光栅的空间对称级的衍射光进行干涉,基于多普勒效应,采用偏振检测的方法获得相位相差90°的干涉信号.通过光电检测把获得的正弦和余弦信号进行相位细分,系统可在平面二维方向上实现纳米级的分辨率.该系统相比其他干涉测量系统,测量结构紧凑,环境因素对其影响较小,可应用于较大行程的平面微位移精密检测.
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| 关 键 词： | 二维光栅 位移测量 干涉 |
| 文章编号： | 1672-6030(2007)04-0311-04 |
| 修稿时间： | 2007-08-16 |
2D Nano-Displacement Measurement with Diffraction Grating |
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| XIA Hao-jie,FEI Ye-tai,FAN Guang-zhao,CHENG Fang. 2D Nano-Displacement Measurement with Diffraction Grating[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2007, 5(4): 311-314 |
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| Authors: | XIA Hao-jie FEI Ye-tai FAN Guang-zhao CHENG Fang |
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