轰击能量对离子束增强沉积Cr—N薄膜微观结构和硬度的影响 |
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引用本文: | 王兵,李文治.轰击能量对离子束增强沉积Cr—N薄膜微观结构和硬度的影响[J].真空科学与技术,1996,16(1):5-9. |
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作者姓名: | 王兵 李文治 |
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作者单位: | [1]中国工程物理研究院北京研究生部 [2]清华大学材料科学与工程系 |
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摘 要: | 采用离子束增强沉积(IBED)技术,在不同能量氮离子的轴助轰击下制备了Cr-N薄膜,通过SEM观察、XRD分析和显微硬度测定,发现离子轰击能量对Cr-N薄膜的表面形貌、相组成和硬度有显著的影响;随着能量的升高,膜表明形貌由岛形颗粒状转变成蜂窝状;一定能量轰击下获得的Cr2N和CrN混相结合有最高的薄膜硬度;高达16keV的氮离子轰击可诱发非晶化的出现,并对膜有一定的强化作用。在此基础上探讨了离子轰
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关 键 词: | 离子束增强沉积 轰击能量 氮化铬 薄膜 |
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