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| 环孔工艺的碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件 | |
| 作者姓名： | 姚英 庄继胜 邹继鑫 姬荣斌 朱颖峰 陈晓屏 范宏波 蔡毅 |
| 作者单位： | [1]昆明物理研究所,云南昆明650223 [2]华东光电集成器件研究所,安徽蚌埠233042 |
| 摘 要： | 碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件是高性能热像仪的核心组件．本文中作者完成了碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件的设计，利用环孔技术制备出576×6焦平面探测器芯片，经过杜瓦封装、配斯特林制冷机后成为实用的探测器组件．性能参数测试表明：典型的探测率达到1．79×10^11cmHz^1/2／w，非均匀性达到14．6％，盲元率达到6．0％，并完成探测器组件的实验室演示成像． |
| 关 键 词： | 环孔技术 碲镉汞 长波红外 576& #215 6焦平面探测器组件 |
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