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椭球反射镜膜厚均匀性
引用本文:熊胜明 张云洞. 椭球反射镜膜厚均匀性[J]. 光电工程, 1993, 20(4): 41-45
作者姓名:熊胜明 张云洞
作者单位:中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所 成都,610209,成都,610209,成都,610209
摘    要:本文分析了椭球反射镜膜层厚度均匀性对反射率的影响,从理论上得到膜厚计算公式。根据计算的膜厚分布设计了遮蔽板,获得较好的反射特性。

关 键 词:椭球面镜 反射膜 厚度 均匀性

Coating Thickness Uniformity for Ellipsoidal Mirror
Xiong Shengming,Zhang Yundong,Guo Yonghong. Coating Thickness Uniformity for Ellipsoidal Mirror[J]. Opto-Electronic Engineering, 1993, 20(4): 41-45
Authors:Xiong Shengming  Zhang Yundong  Guo Yonghong
Abstract:The effects of the coating thichness uniformities for the ellipsoidal mirror on thereflectance are analysed in the paper. The calculting formula for coating thickness of ellip-soidal mirror is obtained in theory. The mask plate has been designed in terms of the calculat-ing coating thichness distribution and good reflecting property has been obtained.
Keywords:Ellipsoidal mirrors   Reflective films   Thickness   Uniformity   Reflectivity.
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