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硅晶体管中加氟可提高中子速度
引用本文:杨英惠.硅晶体管中加氟可提高中子速度[J].现代材料动态,2007(3):13-14.
作者姓名:杨英惠
摘    要:英国南安普敦大学研究人员发现,在制造三层晶体管时向硅中加氟可使其中电子流动速度加快。研究人员利用现有硅制造工艺向硅器件加氟以图提高电子速度。

关 键 词:硅晶体管  流动速度  加氟  英国南安普敦大学  中子  研究人员  电子速度  制造工艺
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