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| 反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究 | |
| 引用本文： | 傅新定,郑延芳,陈莉芝,任琮欣,蔡雪强,曲志敏,徐英明,李美月.反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究[J].光学学报,1985(1). |
| 作者姓名： | 傅新定 郑延芳 陈莉芝 任琮欣 蔡雪强 曲志敏 徐英明 李美月 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 (傅新定，郑延芳，陈莉芝，任琮欣)，上海市激光技术研究所 (蔡雪强，曲志敏，徐英明)，上海市激光技术研究所(李美月) |
| 摘 要： | 本文报道以无透镜傅里叶全息术变换记录的全息光栅作掩膜,应用反应离子束入射角控制光栅闪耀角,选择了合适刻蚀工艺参数,制得衍射效率为67%的SiO_2全息闪耀光栅。 |
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