活性炭吸附低浓度SO2和丙酮的分子模拟研究

随着集成电路线宽的减小，电子工业洁净室中的气态分子污染物呈现出浓度低、种类多的特点。极低分压条件下，气态分子污染物在活性炭基化学过滤器中的竞争吸附机理尚不清楚。本文基于巨正则蒙特卡罗(GCMC)和分子动力学(MD)方法，模拟了不同温度和相对湿度下活性炭对低浓度SO₂和丙酮的吸附过程。结果表明：活性炭对SO₂和丙酮的吸附量随温度的升高而降低，随相对湿度的增大变化不明显；SO₂和丙酮同时存在对活性炭的初始吸附能力没有明显影响。