| 利用CO2激光法快速制造PMMA基材的微流控分析芯片 |
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| 引用本文： | 洪廷甫,朱伟中,梁智创,林秋丰,蔡建雄,傅龙明. 利用CO2激光法快速制造PMMA基材的微流控分析芯片[J]. 纳米技术与精密工程, 2009, 7(4): 351-354 |
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| 作者姓名： | 洪廷甫 朱伟中 梁智创 林秋丰 蔡建雄 傅龙明 |
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| 作者单位： | 1. 屏东科技大学材料工程系,屏东912
2. 屏东科技大学车辆工程系,屏东912 |
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| 摘 要： | 提出一种广泛使用的CO2激光法,以直接读写烧蚀的方式,进行快速的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）基材的微流控分析芯片的制造.利用此方法所制造的微流道,将以扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）及表面轮廓仪进行各项表面性质的分析.本文所发展的CO2激光烧蚀法,提供了一个可广泛使用及具有经济效应的PMMA基材的微流控分析芯片的制造方法.在此激光制程法中,微流控分析芯片的制造图案可由商业的套装软件绘制而成,再传输至激光系统中进行烧蚀微管道,结果显示利用离焦法的激光制程技术,在没有退火处理的情况下,就可以获得表面相当平滑的微流道,表面粗糙度小于4nm.
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| 关 键 词： | CO2激光 微流控分析芯片 PMMA 离焦法 |
Rapid Fabrication of Microfluidic Chip on PMMA Substrate by CO_2 Laser |
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| HONG Ting-fu,JU Wei-Jhong,LEONG Jik-Chang,LIN Chiu-Feng,TSAI Chien-Hsiung,FU Lung-Ming. Rapid Fabrication of Microfluidic Chip on PMMA Substrate by CO_2 Laser[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2009, 7(4): 351-354 |
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| Authors: | HONG Ting-fu JU Wei-Jhong LEONG Jik-Chang LIN Chiu-Feng TSAI Chien-Hsiung FU Lung-Ming |
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| Affiliation: | 1.Department of Materials Engineering;Pingtung University of Science and Technology;912 Pingtung;Taiwan;China;2.Department of Vehicle Engineering;China |
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| Abstract: | This paper presents a widely available CO2 laser scriber to perform the direct-writing ablation of poly(methyl methacrylate)(PMMA)substrate for the development of microfluidic chips.The surface quality of the ablated microchannels and the presence of debris and distortion were examined by scanning electron microscopy,atomic force microscopy and surface profile measurement techniques.The developed laser ablation system provides a versatile and economic approach for the fabrication of microfluidic chips on PM... |
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| Keywords: | PMMA C02 laser microfluidic chip PMMA unfocusing method |
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