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超分辨近场结构光盘读出信号的计算模型
引用本文:刘嵘,徐端颐,齐国生,佘鹏,雷志军. 超分辨近场结构光盘读出信号的计算模型[J]. 光学技术, 2004, 30(2): 131-134
作者姓名:刘嵘  徐端颐  齐国生  佘鹏  雷志军
作者单位:清华大学,精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心,北京,100084;清华大学,精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心,北京,100084;清华大学,精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心,北京,100084;清华大学,精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心,北京,100084;清华大学,精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心,北京,100084
基金项目:国家重点基础研究发展规划"973"资助项目(G19990330)
摘    要:给出了超分辨近场结构光盘(Super RENS)读出信号的计算模型。以时域有限差分法为基础,结合高斯光束矢量模型和衍射方法,通过计算得到了物镜出瞳上的读出信号。计算结果表明,Super RENS具有超衍射极限的空间分辨能力,并且其读出信号的特征完全不同于传统光盘。

关 键 词:超分辨近场结构  掩膜  时域有限差分法  高斯光束  衍射
文章编号:1002-1582(2004)02-0131-04
修稿时间:2003-07-07

Calculation model of readout signal from super-resolution near-field structure disk
LIU Rong,XU Duan-yi,QI Guo-sheng,SHE Peng,LEI Zhi-jun. Calculation model of readout signal from super-resolution near-field structure disk[J]. Optical Technique, 2004, 30(2): 131-134
Authors:LIU Rong  XU Duan-yi  QI Guo-sheng  SHE Peng  LEI Zhi-jun
Abstract:A calculation model of readout signal from super-resolution near-field structure disk (Super-RENS) is presented. The readout signal on the exit pupil of the objective lens is calculated using finite-difference time-domain method (FDTD) together with a vector model of Gaussian beam and the diffraction method. Calculation results show that Super-RENS disk has a high spatial resolution beyond diffraction limit, and properties of readout signal are quite different from that of conventional optical disk.
Keywords:super-RENS  mask  FDTD method  Gaussian beam  diffraction
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