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应用于高纯气体净化过程的不锈钢气动阀门
引用本文:初建胜,付启贵,王瑞升,邱长春. 应用于高纯气体净化过程的不锈钢气动阀门[J]. 低温与特气, 2001, 19(1): 8-9
作者姓名:初建胜  付启贵  王瑞升  邱长春
作者单位:中科院大连化物所科技开发公司气体工程发展中心,
摘    要:介绍了ZDF25-45气动波纹管阀门,该阀具有价格低廉、运行高铲等特点,可以替代进口阀门,广泛应用于高纯、超纯、超高纯气体生产、净化、输送等领域。

关 键 词:高纯气体 净化 超高纯气体 生产 输送 不锈钢气动阀门
文章编号:1007-7804(2001)01-0008-02
修稿时间:2000-12-15

The Stainless Pneumatic Valves for Purification of High-Purity Gases
Abstract:
Keywords:
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