| 气体法掺硼制备双面金刚石电极的研究 |
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| 引用本文： | 周春,徐锋,徐俊华,卢文壮,左敦稳.气体法掺硼制备双面金刚石电极的研究[J].人工晶体学报,2013,42(2):230-234. |
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| 作者姓名： | 周春 徐锋 徐俊华 卢文壮 左敦稳 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院,南京,210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51005117);南京航空航天大学研究生创新基金(KFJJ20110223) |
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| 摘 要： | 本文根据制备双面电极所要的温度场流场需求,设计了一个悬挂式的沉积平台,以满足工业级金刚石电极的制备需要.利用B2H6气体掺杂的方法制备不同掺杂浓度的金刚石电极,用SEM、Raman、四探针电阻仪对掺杂金刚石膜进行了分析,同时对制成的电极做了电化学性能的测试.结果表明,在设计的平台上可以制备出高质量的金刚石薄膜,B掺杂对金刚石膜的成分结构影响比较大,随着掺杂浓度的提高,晶粒细化明显,掺杂浓度过高薄膜质量下降.电化学性能的检测表明,气体掺杂的效率比较明显,在2000 ～4000 ppm较低浓度下,电极已经表现出良好的电化学性能.
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| 关 键 词： | 双面金刚石 气体掺杂 电化学窗口 |
Research on the Preparation of Double-sided Diamond Coated Electrode with Gas Doping of Boron |
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| ZHOU Chun,XU Feng,XU Jun-hua,LU Wen-zhuang,ZUO Dun-wen.Research on the Preparation of Double-sided Diamond Coated Electrode with Gas Doping of Boron[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(2):230-234. |
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| Authors: | ZHOU Chun XU Feng XU Jun-hua LU Wen-zhuang ZUO Dun-wen |
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| Affiliation: | (College of Mechanical and Electrical Engineering,Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,Nanjing 210016,China) |
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